JSR社長が古巣に「宣戦布告」/東京エレクトロン社長に「意趣返し」

昨日の敵は今日の友。「犬猿の仲」のトップが率いる古巣のシェアを奪う目算か。

2026年2月号 BUSINESS

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「まさに場外乱闘だね」。ある半導体業界筋は、化学メーカー、JSRと半導体製造装置大手の米ラムリサーチの提携の印象をこう話す。2025年9月に両社は次世代半導体に向けた共同開発を行うと発表したが、業界内の見立ては異なる。乱闘の相手はJSRの堀哲朗社長の古巣でもある半導体製造装置大手、東京エレクトロンである。元々、JSR子会社の米インプリアとラムリサーチは22年から金属を使うフォトレジスト「金属酸化物レジスト(MOR)」の特許侵害で係争していた。インプリアはラムリサーチが特許を侵害したとして、損害賠償を求めていた。フォトレジストは、半導体回路を形成する際、露光装置と合わせて使う感光材。JSRをはじめ、東京応化工業、信越化学、住友化学、富士フイルムの日本勢でシェアの90%以上を占める。だが、現在使われる有機のフォトレジストは、先端半導体で使う極端紫外線(EUV)露光装 ………

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